Thứ 319 chương Thuận thế cất cánh
Nếu biết cần gì, Tiêu Túc lập tức ra tay, đem phía trước phổ vực bù trừ lẫn nhau dàn khung bên trong đồ Lapras phổ phân giải làm mở rộng.
Tại trong lúc đầu dàn khung, trên bản vẽ tiết điểm là cùng một loại vật lý thực thể, tỉ như siêu mặt ngoài nano dây anten, hoặc vật kính bên trong từng mảnh từng mảnh thấu kính.
Nhưng ở trong mới dàn khung, đồ tiết điểm có thể tới từ hoàn toàn khác biệt vật lý hệ thống con, nguồn sáng máy phát laser là một cái tiết điểm, vật kính thấu kính là một cái tiết điểm, linh kiện đài khu động điện cơ cũng là một cái tiết điểm, giữa bọn chúng ngẫu hợp quan hệ dùng khác biệt lượng vật lý giao nhau truyền lại hàm số để diễn tả.
Cái này dị kết cấu Lapras ma trận một khi làm phổ phân giải, toàn bộ quang khắc hệ thống toàn cục ưu hóa liền biến thành tại hình thức trong không gian tìm một cái liên hợp cực nhỏ giá trị.
Nhưng mà chỉ có ưu hóa dàn khung còn chưa đủ.
Cho dù đem 3 cái hệ thống con hiệp đồng làm được cực hạn, 193 nano đắm chìm vào thức quang khắc vật lý cực hạn vẫn là tại chỗ đó bày, 38 nano nhận thức cực hạn sẽ không bởi vì ưu hóa làm tốt liền tự động đột phá.
Muốn chân chính thực hiện bay vọt về chất, nhất thiết phải đem việc làm bước sóng rút ngắn.
EUV là có sẵn sóng ngắn hình chữ nhật án, nhưng EUV nguồn sáng hiệu suất vấn đề một mực là bế tắc.
Tiêu Túc lật qua lật lại Cao Trường An chỗ tài liệu đó bên trong liên quan tới EUV nguồn sáng chương tiết, lại lục soát mấy thiên gần 2 năm phát biểu tại trên quang học đỉnh san tích thể plasma nguồn sáng hiệu suất phân tích luận văn, càng xem càng cảm thấy con đường này phương hướng bản thân liền tuyển phải không đúng lắm.
Tích thể plasma sinh ra tia tử ngoại năng lượng chuyển hóa hiệu suất chỉ có một chữ số tỉ lệ phần trăm, đại bộ phận bơm phổ năng lượng hoàn toàn biến thành nóng, muốn duy trì ổn định quang thu phát liền cần khổng lồ để nguội hệ thống cùng siêu cao công suất khu động máy phát laser, trọn bộ nguồn sáng hệ thống phức tạp đến có thể so với một tòa cỡ nhỏ trạm phát điện.
Hắn thả xuống trong tay luận văn, cầm bút lên tại trên giấy nháp vẽ lên một cái mới topol (cấu trúc liên kết).
Có khả năng hay không không dựa vào tích thể plasma, cũng không dựa vào truyền thống 193 nano tím đậm bên ngoài máy phát laser, mà là đi một con đường khác đâu?
Tỉ như, dùng một cái sóng ngắn dài tự do điện tử máy phát laser trận liệt làm nguồn sáng, dùng nhiều cái độc lập khả khống chùm laser từ bất đồng góc độ đồng thời chiếu xạ che mô hình, lại thông qua một cái thời gian thực sóng phía trước hiệp đồng hệ thống điều khiển đem nhiều chùm sáng tại đĩa bán dẫn trên mặt hợp thành một cái đơn độc, tướng vị chính xác xếp hợp lý lộ ra ánh sáng quầng sáng.
Ý nghĩ này hạch tâm ở chỗ đem nguồn sáng thu phát công suất cao sóng ngắn dài riêng này cái truyền thống nan đề, chuyển tới trong nhiều buộc công suất quang tại mục tiêu trên mặt phẳng tương quan hợp thành cái này khả khống tính chất mạnh hơn toán học về vấn đề tới.
Tự do điện tử máy phát laser có thể sinh ra từ tím đậm bên ngoài đến mềm X xạ tuyến sóng ngắn cao độ sáng quang, đơn buộc công suất không cần làm đến giống EUV khu động máy phát laser cao như vậy, bởi vì cuối cùng công suất cao là thông qua nhiều buộc tương quan hợp thành tới thực hiện.
Mà hợp thành hiệu suất mấu chốt ở chỗ mỗi chùm sáng tướng vị khống chế độ chính xác, cái này vừa vặn là phổ vực bù trừ lẫn nhau dàn khung am hiểu nhất làm chuyện.
Càng nghĩ phương pháp càng nhiều, Tiêu Túc vùi đầu, tại trên giấy nháp cực nhanh vẽ lấy sơ đồ.
Tại che mô hình phía trên là một cái hình khuyên trận liệt tự do điện tử máy phát laser ra xạ khẩu, mỗi chùm sáng đi qua độc lập quang trình đền bù khí cùng sóng phía trước chỉnh hình khí, lại thông qua một cái chung cùng vật kính hệ thống hội tụ đến đĩa bán dẫn mặt ngoài.
Quang trình đền bù khí tín hiệu khống chế từ một cái thời gian thực sóng tiền truyện cảm giác khí trận liệt phản hồi, phản hồi phép tính dùng chính là mở rộng sau phổ vực bù trừ lẫn nhau dàn khung.
Toàn bộ trong hệ thống không có EUV nguồn sáng loại kia hiệu suất cực thấp tích thể plasma quá trình, cũng không có 193 nano đắm chìm vào thức quang khắc loại kia cần nhiều lần lộ ra ánh sáng, nhiều lần nhắm ngay đa trọng lộ ra ánh sáng quá trình, sẽ tiết kiệm nhiều thời gian hơn, giống y chang chất lượng cũng biết tùy theo lên cao.
Đơn lần ra ánh sáng nhận thức trên lý luận có thể đẩy lên tiếp cận nguồn sáng bước sóng diễn xạ cực hạn, mà tự do điện tử máy phát laser bước sóng là có thể liên tục hài hoà, từ tím đậm bên ngoài một đường điều chỉnh đến mềm X xạ tuyến cũng không có vấn đề gì.
Hắn đem bộ này mới cơ cấu từ đầu tới đuôi đẩy một lần, từ nguồn sáng trận liệt bài bố topol (cấu trúc liên kết) đến sóng phía trước hiệp đồng khống chế hạch tâm toán pháp, lại đến linh kiện đài toàn cục định vị sai sót đền bù sách lược, mỗi một bước toán học khung xương đều viết ở trên giấy.
Đẩy xong sau hắn không có trì hoãn, tiện tay đem giấy nháp bên trên nội dung chỉnh lý quy nạp, đổi thành một phần chính thức văn kiện.
《 Căn cứ vào tự do điện tử máy phát laser trận liệt cùng toàn cục hiệp đồng ưu hóa kiểu mới quang khắc hệ thống phương án thiết kế 》
“Hiện hữu 193nm đắm chìm vào thức quang khắc Rayleigh nhận thức cực hạn vì R=k1λNA, trong đó k1≈0.25 vì công nghệ thừa số, NA≤1.35, nhưng phải R≈38nm.
Cực tử ngoại (EUV) quang khắc mặc dù đem bước sóng rút ngắn đến 13.5nm, nhưng tích thể plasma nguồn sáng năng lượng chuyển đổi hiệu suất η=PEUV/Plaser≈2%∼5%, lại nhiều tầng mục silic kính phản xạ phản xạ tỷ lệ r≤70%, dẫn đến hữu hiệu quang công suất không đủ......”
Hắn trước tiên ở trích yếu bộ phận giản yếu nói rõ một chút hiện hữu quang khắc kỹ thuật tại nguồn sáng hiệu suất cùng hệ thống con hiệp đồng hai cái chiều không gian bên trên bình cảnh, cùng với phương án mới như thế nào thông qua nhiều buộc tương quan hợp thành cùng dị cấu ngẫu hợp toàn cục ưu hóa tới lách qua những thứ này bình cảnh.
Bộ phận nhưng là theo nguồn sáng trận liệt thiết kế, sóng phía trước hiệp đồng khống chế, toàn cục ngẫu hợp ưu hóa, linh kiện đài động thái đền bù cái này 4 cái chương tiết theo thứ tự bày ra, mỗi một chương đều kèm tương ứng toán học suy luận cùng tham số biên giới tính ra.
Cả bộ văn kiện không lâu lắm, nhưng tin tức mật độ rất cao.
Viết xong sau đó hắn đem phần này văn kiện cùng phía trước ngày đó áo tàng hình luận văn bản nháp cùng một chỗ đóng gói, đem Cao Trường An kêu đi vào.
Cao Trường An gõ cửa lúc tiến vào, Tiêu Túc đang đem hai phần tài liệu từ lúc máy in bên trong lấy ra.
Hắn đem tài liệu đưa cho Cao Trường An, ngữ khí cùng bình thường ngược lại không có gì khác biệt.
“Cái này hai phần tài liệu, một phần là máy quang khắc phương án mới, ngươi giúp ta đưa đến khoa học kỹ thuật bộ đi.
Một phần khác là liên quan tới ẩn hình siêu tài liệu luận văn, hôm nay giúp ta đem đầu đề thân thỉnh.”
Cao Trường An tiếp nhận tài liệu, thói quen trước tiên lật ra phía trên nhất phần kia.
Kết quả lật ra tờ thứ nhất, trích yếu câu nói đầu tiên thì đem hắn đóng vào tại chỗ.
“Tự do điện tử máy phát laser trận liệt”.
Hắn sửng sốt một chút, cho là mình nhìn lầm rồi.
Nhưng hắn nháy nháy mắt nhìn lại, chữ vẫn là không thay đổi.
Hắn lại đi xuống nhìn lướt qua, đủ loại cao năng từ ngữ tầng tầng lớp lớp: “Nhiều buộc tương quan hợp thành” “Toàn cục hiệp đồng ưu hóa” “Toàn cục ngẫu hợp ưu hóa” “Thưa thớt đang thì hóa”......
Những thứ này từ hắn đương nhiên đều biết, nhưng hắn cho tới bây giờ không nghĩ tới, có lẽ phải nói, từ xưa tới nay chưa từng có ai nghĩ tới, bọn chúng lại còn có thể bị liều mạng tại trong cùng một phần quang khắc hệ thống phương án thiết kế.
Hắn vô ý thức đem tờ giấy kia hướng về trước mắt đụng đụng, từ hàng ngũ nhứ nhất bắt đầu, từng chữ từng chữ dời xuống.
Mỗi đọc nhiều một câu, biểu tình trên mặt hắn liền vi diệu biến hóa một điểm.
Lật đến sóng phía trước hiệp đồng khống chế cái kia một chương thời điểm, ngón tay của hắn dừng ở một cái công thức bên cạnh, cả người như là bị ấn nút tạm ngừng giật mình ngay tại chỗ.
Ở đây, Tiêu Túc trực tiếp đem nguồn sáng, vật kính, linh kiện đài tam đại hệ thống con tất cả độ tự do toàn bộ nhét vào cùng một cái tính toán thể hệ, lại dùng một loại trước đây chưa từng thấy mạch suy nghĩ trục tầng phá giải thành độc lập tính toán mô hình thái, cuối cùng, mượn nhờ đồ Lapras ma trận phổ phân giải thôi diễn phương thức, nguyên bản riêng phần mình độc lập, lẫn nhau không nối thông ba bộ tính toán lôgic, liền như vậy hoàn toàn hòa hợp một cái hoàn chỉnh chỉnh thể.
3 cái module, trước kia là ngươi đụng đến ta cũng động, ngươi ta lại cũng lại, làm sao đều vặn không đến cùng một chỗ, bây giờ lại bị một cái công thức cho tạo thành cùng một cái đồ vật.
Cao Trường An dù là xem không hiểu cái này biểu thức số học, cũng vẫn là lập tức hiểu rồi đầu này nghiên cứu con đường tích chứa vô thượng giá trị.
Hắn cơ hồ đều phải cảm giác không thấy hô hấp của mình.
Tiêu Túc thiên mã hành không ý nghĩ, lại thêm lô hỏa thuần thanh lý luận vận dụng, đơn giản để cho hắn toàn thân đều nổi da gà.
Nếu như bộ này phương án thật có thể rơi xuống đất, Hoa quốc quang khắc kỹ thuật cũng không phải là đuổi theo không truy đuổi vấn đề, mà là trực tiếp mở ra một đầu con đường hoàn toàn mới, nhảy lên thực hiện dẫn đầu, thuận thế bay lên.