Thứ 600 chương Vậy thì không phải là lộ vấn đề, là tham số không có sờ đến
Phòng thí nghiệm dựng hơn nửa năm.
Thiết bị là Lăng Nam từng cái từng cái chọn.
Hạch tâm là máy phát laser —— Hắn dùng chính là 1 bé nhỏ thể rắn máy phát laser, một khối nhân tạo tinh thể mở điện phát sáng, thể tích nhỏ hiệu suất cao, tiện tay đèn pin tựa như. Quốc nội công ty có thể làm, kilowatt cấp không có vấn đề.ASML dùng chính là 10.6 bé nhỏ CO2 máy phát laser, phải đâm CO2 khí thể, như cái xe tải nhỏ, thể tích lớn hao tổn điện cao, hơn nữa chỉ có nước Đức thông khoái có thể làm, chỉ bán cho ASML.
Hai nhà đi lộ hoàn toàn không giống.
Laser đánh cái gì? Đánh tích. Tích tích máy phát mỗi giây phun ra mấy vạn tích thể lỏng tích tích làm bia, laser oanh thượng đi, đem tích nổ tung, nổ ra tới chính là EUV quang. Cái này quốc nội không có sẵn, Lăng Nam chính mình vẽ, tìm máy móc gia công nhà xưởng làm.
Bắn bia đến tại trong chân không thể khoang —— Không khí sẽ ăn mất EUV quang, phải đem không khí toàn bộ rút khô sạch. Thẩm Dương Khoa nghi thể khoang, quốc nội có thể làm.
Đo đạc thiết bị quý nhất, cũng phiền toái nhất.
Bình tràng máy đo quang phổ, nhìn nổ ra tới sóng ánh sáng dài đúng hay không. Quốc nội trung đê đoan có, nhưng Lăng Nam cần cao cấp loại hình, nhận thức phải đủ, chỉ có hai nhà có thể làm —— Một nhà tại nước Đức, một nhà tại Nhật Bản.
X xạ tuyến CCD, cho EUV quang chụp ảnh máy ảnh, nhìn bằng mắt thường không thấy loại này quang, chỉ có thể dùng dụng cụ nhìn. Cao cấp hàng toàn cầu liền ba nhà công ty có thể làm, hai nhà tại Châu Âu, một nhà tại Nhật Bản.
Lăng Nam đi trước bình thường mua sắm con đường —— Báo cáo đạo một ngành mua sắm, đi ở giữa khoa viện nhập khẩu phê duyệt. Phê, nhưng kẹt tại một bước cuối cùng: Thương nghiệp cung ứng cái kia vừa nói cần cuối cùng công dụng tuyên bố.
Lăng Nam giảng giải đây là nguồn sáng phòng thí nghiệm, không phải sinh tuyến, là làm cơ sở nghiên cứu. Đối phương trở về bưu kiện, cách diễn tả rất khách khí, ý tứ rất cứng —— Cần ngoài định mức thẩm tra.
Thẩm tra liền thẩm tra. Đợi một tháng, không có tin tức.
Lăng Nam đổi một mạch suy nghĩ. Hắn tìm trước đó tại Pháp quốc năng lượng nguyên tử thự lão đồng sự, người kia tại Châu Âu một nhà nghiên cứu khoa học cơ quan, lấy nghiên cứu cơ quan dưới danh nghĩa đơn, thiết bị tới trước Châu Âu, lại chuyển quốc nội. Nhưng nhóm này thiết bị chứa nước Mỹ kỹ thuật, đi nước Mỹ " Ngoại quốc trực tiếp sản phẩm quy tắc "—— Chỉ cần có một cái nước Mỹ linh kiện, liền phải nhìn nước Mỹ sắc mặt. Nhóm thứ hai lại kẹt.
Con đường thứ ba: Nhật Bản nhà kia. Nhật Bản đối với hoa chất bán dẫn quản chế cũng tại nắm chặt, nhưng nghiên cứu khoa học cấp thiết bị so sinh sản cấp lỏng một ít. Lăng Nam liên lạc Nhật Bản bác sau sư đệ, đối phương tại Đông Kinh một nhà sở nghiên cứu, hỗ trợ lấy sở nghiên cứu dưới danh nghĩa đơn. Phê duyệt đi hai tháng, cuối cùng phê —— Nhưng kèm theo điều kiện: Thiết bị chỉ có thể dùng cơ sở vật lý nghiên cứu, không đắc dụng tại chất bán dẫn chế tạo.
Có thể. Lăng Nam ký cuối cùng công dụng tuyên bố.
Trước sau giằng co non nửa năm, máy đo quang phổ cùng CCD cuối cùng đến hàng. Cái rương từ Đông Kinh phát tới thời điểm, Lăng Nam tự mình đi hải quan nhắc, mở rương kiểm tra thời điểm tay đều run rẩy —— Sợ vận chuyển trên đường xảy ra vấn đề, sợ bị chụp, sợ thất bại trong gang tấc.
Mục silic nhiều lớp màng kính phản xạ ngược lại là ngược lại, chuyên môn phản xạ 13.5nm quang —— Ánh sáng mắt thường nhìn thấy được bước sóng 400 đến 700nm, 13.5nm chỉ có một phần mấy chục, so vi khuẩn còn thiếu, cho nên gọi tia tử ngoại —— Trường xuân máy chụp x quang x làm, quốc nội ngược lại có thể tạo.
Trọn bộ kiểm trắc hệ thống hoa gần hai ngàn vạn.
Lâm Nghiễn phê, không trả giá cả.
Thiết bị đến đông đủ sau, Lăng Nam mang theo bốn người bắt đầu điều chỉnh thử.
Bốn người. Tiểu Trần là Lăng Nam từ Pháp quốc năng lượng nguyên tử thự đào trở về lão đồng sự, làm máy phát laser xuất thân; Lão Chu, máy chụp x quang x qua tới nghiên cứu viên, hơn 40, ổn trọng nhất; Tiểu Ngô, mới ra đứng bác sau, học quang học, phần thứ nhất việc làm; Còn có Lăng Nam chính mình. Bốn người, một gian nhà máy, một bộ thiết bị, một đầu không có người đi qua lộ.
Laser công suất mật độ —— Chính là laser đánh vào tích nhỏ lên năng lượng có nhiều tập trung, mạch xung độ rộng —— Laser hiện ra bao lâu, tích tích tần suất —— Mỗi giây phun bao nhiêu tích, tập trung quầng sáng lớn nhỏ —— Laser chiếu vào tích nhỏ lên vòng lớn bao nhiêu —— Mỗi một cái tham số cũng là ẩn số.
CO2 lộ tuyến tham số ASML lục lọi hai mươi năm, luận văn có, độc quyền cũng có, nhưng đó là CO2 tham số, cùng 1 bé nhỏ thể rắn laser không phải một chuyện.
Lăng Nam bắt đầu từ số không sờ.
Lần thứ nhất bắn bia.
Quá trình là dạng này: Tích tích máy phát mỗi giây phun ra 5 vạn tích tích tích, mỗi tích ba mươi bé nhỏ, cọng tóc 1⁄3 thô; Đệ nhất Thúc Kích Quang —— Gọi dự mạch xung —— Đem tích tích đánh thành giống bánh kem, ba hơi giây sau —— Nháy mắt một phần vạn —— Thứ hai Thúc Kích Quang chủ mạch hướng oanh thượng đi, tích trong nháy mắt bị làm nóng đến 22 vạn độ C, so mặt ngoài mặt trời nóng bốn lần, nổ thành thể plasma, phóng xuất ra 13.5nm EUV quang.
Đây chính là máy quang khắc nguồn sáng —— Trên tấm chip những cái kia tinh vi đến mấy nano tuyến đường, chính là dùng loại này quang in vào. Không có cái này quang, Chip chỉ làm không ra.
Trên lý luận là như thế này.
Thực tế lại là: Laser đánh lên đi, tích tích bắn tung toé, chân không khang bên trong đen kịt một màu —— Máy đo quang phổ bên trên tín hiệu gì cũng không có.
Không có ra quang.
Tiểu Trần khuôn mặt lập tức bụi. Lão Chu không nói chuyện, cúi đầu nhìn số liệu. Tiểu Ngô đứng ở phía sau, bờ môi nhếch.
Lăng Nam nhìn 5 phút tham số ghi chép." Công suất mật độ không đủ. Tích không có nổ tung —— Laser năng lượng không đủ tập trung, tích không tới thể plasma thái, liền không ra được EUV quang."
" Điều bao nhiêu?" Tiểu Trần hỏi.
" Không biết. Đi lên điều, sờ."
Lão Chu khép lại máy vi tính xách tay (bút kí), nói một câu: "ASML sờ CO2, năm thứ nhất cũng không ra quang."
Lăng Nam nhìn hắn một cái. Lão Chu không phải đang an ủi hắn, là đang trần thuật sự thật.
Kế tiếp mấy tháng, nhiều lần điều, nhiều lần đánh, nhiều lần không có ra quang.
Đoàn đội bắt đầu dao động. Không phải ở trước mặt nói, là Lăng Nam cảm giác được —— Tiểu Trần điều tham số thời điểm chậm tay, lão Chu nhìn văn hiến thời gian nhiều, tiểu Ngô bắt đầu vụng trộm xoát web tuyển dụng.
Lăng Nam không giải thích. Hắn mỗi ngày thứ nhất đến, cái cuối cùng đi. Điều tham số, bắn bia, nhìn số liệu, điều tham số, bắn bia, nhìn số liệu. Giống tại ASML hai năm đầu một dạng —— Không có người dạy, chính mình sờ, sờ soạng 2 năm mới sờ đến thứ nhất hữu hiệu tín hiệu.
Nhưng lúc đó hắn có ASML toàn bộ tích lũy có thể tham chiếu. Bây giờ không có.1 bé nhỏ thể rắn laser đánh tích cái bia sinh ra EUV quang, toàn thế giới không có người thành công qua.
Có người hỏi hắn: " Lăng Công, CO2 con đường hai mươi năm trước cũng là dạng này mò ra, chúng ta sờ mười năm được hay không?"
Lăng Nam nhìn hắn một cái."ASML sờ CO2 thời điểm, không có người cùng hắn cướp thời gian. Chúng ta bây giờ là đang cùng chế tài thi chạy."
Không có người lại nói tiếp.
Lâm Nghiễn tới hai lần. Lần thứ nhất nhìn thiết bị, lần thứ hai nhìn số liệu. Xem xong không nói gì, chỉ hỏi một câu: " Thiết bị có vấn đề sao?"
" Không có."
" Vậy thì không phải là lộ vấn đề, là tham số không có sờ đến."
Lăng Nam không có tiếp lời. Trong lòng của hắn tinh tường —— Lộ có thể là đúng, nhưng tham số cửa sổ quá hẹp. Tham số cửa sổ đó là có thể nhường ra quang cái kia tham số phạm vi, quá lớn không ra quang, quá nhỏ cũng không ra quang, phải vừa vặn giẫm ở trong cái kia hẹp hẹp khu gian.CO2 lộ tuyến tham số cửa sổ, ASML hoa hai mươi năm, trên trăm ức USD mới mò ra. Hắn được bản thân sờ.
Trước khi đi Lâm Nghiễn đứng một hồi, nhìn Lăng Nam ngồi xổm ở chân không khang bên cạnh xoa tích cặn bã. Hắn nhớ tới Lăng Nam đưa ra thư từ chức tốc độ —— Từ nhìn thấy chế tài tin tức đến từ chức, không đến một ngày.
Không phải xúc động. Là bức tường kia cuối cùng đè lên người hắn quen biết trên thân.
Lâm Nghiễn không có thúc dục tiến độ. Hắn nói qua " Không thúc dục ", liền không thúc dục.
Đêm hôm đó, Lăng Nam còn tại phòng thí nghiệm.
Lại là một lần bắn bia, máy đo quang phổ màn hình vẫn là đen. Hắn ngồi ở dụng cụ phía trước, nhìn chằm chằm cái kia phiến đen.
Hắn nhớ tới hoa làm chăn chế tài ngày đó mình tại ASML văn phòng nhìn thấy tin tức, hắn tại bức tường kia bên trong chờ đợi 5 năm, so với ai khác đều biết bức tường kia có nhiều rắn chắc.
Hoa làm chăn chế tài tin tức truyền tới, Đài Tích Điện tuyên bố đánh gãy cung cấp —— Không còn cho hoa vì gia công Chip, giao xong trên tay tờ đơn liền ngừng.
Hắn đột nhiên cảm giác được không thể đợi thêm nữa.
Làm nguồn sáng người Trung Quốc không ở bên trong, chỉ liền vĩnh viễn không chiếu vào được.
Hắn tại ASML là nguồn sáng kỹ thuật người phụ trách, liên tục 5 năm cầm độc quyền thưởng. Hắn làm ra CO2 laser EUV nguồn sáng toàn thế giới tốt nhất —— Nhưng đồ tốt nhất, người Trung Quốc không đụng tới.
Hiện tại hắn đổi một con đường, bắt đầu từ số không. Không có tham chiếu, không có tích lũy, ngay cả tham số cửa sổ cũng là đen.
Hắn cầm lấy tay quay bắt đầu hủy đi thể khoang thanh tẩy. Khang trên vách tất cả đều là tích bắn tung tóe vết tích, đánh nhiều lần như vậy, chính là không có 13.5nm quang.
CO2 lộ tuyến tham số cửa sổ, ASML hoa hai mươi năm mò ra. Hắn bây giờ liền cửa sổ ở đâu cũng không biết.
Nhưng hắn biết cửa sổ tồn tại. Vật lý nguyên lý không có vấn đề, kém là thời gian và tiền.
Ngày mai lại đánh.